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| 测量对象: |
光纤阵列 |
| 测量范围: |
小于30mm(可以设置中心点数目和中心芯距) |
| 测量精度: |
测量分辨率：0.02um
重复处理精度：<0.05um> |
| 测量时间: |
约 2秒/轴 |
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| 仪
器 规 格
| 部 件 |
型 号 |
规 格 |
厂 商 |
| 主体 |
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尺寸：760(W)260(D)mm |
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| 电动X调整架(芯距方向)
电动Y调整架(芯距方向)
重载水平Z调整架 |
K101-30R
K101-20
B33-6A |
行程：30mm
分辨率：2mm/脉冲
行程：20mm
分辨率：2mm/脉冲
行程：±30mm |
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| 仪器夹具 |
定制 |
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| 仪器夹具系统单元 |
定制 |
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| 卷带型光纤夹具系统单元 |
定制 |
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| 自动调整架控制器 |
D92(2轴) |
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| 激光干涉仪(2轴) |
LazaxL-DD-01 |
分辨率：0.01mm |
TOKYO SEIUMITSU CO.,LTD. |
| 全反射镜 |
S01-40-1/10
S01-20-1/10 |
f40mm,
面形不规则性：l/10
f20mm,
面形不规则性：l/10 |
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| 显微镜 |
A4859-01 |
物镜镜头 20倍(测量过程200倍变焦) |
Hamamamtsu Photonics K.K. |
| 图形处理系统 |
MVS-7000 |
分辨率：0.002mm |
Hamamamtsu Photonics K.K. |
| CCD1(测量) |
C3077 |
画面：2/3英寸, 30´34mm |
Hamamamtsu Photonics K.K. |
| CCD2(定位) |
CS3330BL |
允许线标识，画面：2/3英寸,
1230´1080 |
teli |
| 监视器 |
9VM10A |
9英寸 |
teli |
| 冷光源 |
MEGA100 |
电功率：135W |
HOYA-SCHOTT公司 |
| 光导 |
VFGL9F-2000-W30R |
光截面：1´30mm,
光导长：2m |
HOYA-SCHOTT公司 |
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PC机规格
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| 操作系统: |
Windows98 或 Windows NT |
| CPU: |
Intel Pentium处理器或更高 |
| 硬盘: |
10MB剩余空间(最小) |
| 内存: |
32MB剩余空间(最小) |
| CD-ROM: |
需要 |
| 主板: |
PCI插槽2个, GP-IB板, I/O板(NI产品 |
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| 软件主要功能:
1. 调整架微动操作(JOG)
2. 芯距测量
3. 图像处理 (MVS...机器观察系统)
4. 激光干涉仪(Lazax) |
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